电子气
大连大特气体有限公司近几年来持续加大电子气体投入，于2018年成为“集成电路材料产业技术创新战略联盟”成员。凭借丰富的配气经验，先进的分析能力（CNAS认证实验室）和严谨的管理体系，不断开发满足客户需求的气体产品，形成了以混合气为主，特殊化学气体及高纯气为辅的产品线，相关产品 已经应用于LED、IC、光伏等行业。 |
气体组分 | 含量 | 阀门 | 充装压力 |
PH3/H2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/N2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/He | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/H2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/N2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
B2H6/H2 | ppm级 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
30%O2/He | DISS714 | 12MPa | |
20%O2/Ar | DISS714 | 10MPa | |
3%H2/Ar | DISS724 | 10MPa | |
15%O2/Ar | DISS714 | 10MPa | |
0.5%O2/He | DISS714 | 12MPa | |
1.2%He/N2 | DISS714 | 12MPa | |
F2/Kr/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
F2/Ar/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
Kr/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
Ar/Xe/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
4%H2/N2 | DISS718 | 12MPa | |
2.7%C2H4/He | JISS22-14OR | 12MPa | |
99.9% NO | JISS22-14-OR | 3.5MPa |
